時間：11月28日（周六）9：00-12:00，13:00-16:00

地點：上海南泉大酒店一樓宴會廳，浦東新區北張家浜路151號，近南泉路口

講師：上海天馬微電子有限公司張世曉廠長

第一部分、工藝整合任務介紹

1、    TFT-LCD制程簡述

2、    工藝整合的主要任務

3、    工藝整合在新品導入中的任務

4、    工藝整合在量產管理中的任務——內外部客戶導向

第二部分、測試工藝及設備介紹

1、    用于清洗評價的測試：Particle counter和Contact Angle

2、    用于Particle評價的測試：AOI

3、    用于關鍵尺寸評價的測試：CDC

4、    用于薄膜特效評價的測試：SR, SE, RS, Profiler

5、    用于TFT電性評價的測試：TEG

6、    用于產品電性檢查的測試：Array Test

7、    用于宏觀微觀檢查的測試：MIC/MAC

8、    用于Rubbing檢查的測試：Rubbing檢查

9、    用于Cell檢查的測試：Cell Gap

10、  用于Module功能不良的測試：AIS

11、  用于ITO Scratch的測試：Scratch AOI

12、  用于缺陷分析的測試：光學顯微鏡，SEM, FIB, FTIR, AFM

第三部分、不良分析及良率提升案例分析

1、    良率模型

2、    不良解析流程介紹：點缺陷解析流程，線缺陷解析流程，Module線缺陷解析流程

3、    點線缺陷分析專案

4、    不良解析流程介紹：Mura

5、    Mura缺陷分析專案

第四部分、新產品新技術導入介紹

1、    工藝整合在新品導入中的任務

2、    各項工程中需要追蹤測定的項目：Array, Cell, Module工程

3、    TFT-LCD新技術：半反半透顯示， 3D光柵， Color E-paper, 氧化物半導體，LTPS

4、    AMOLED:結構及發光原理，彩色化方式，工藝流程，產品應用

注意事項：

課時：9:00-12:00，13:00-16:00

培訓費用包含午餐、講義和結業證書

各項課程均滿10人開課

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